我们实验室要测氯气和硫化氢的流量，量程才 50 sccm 左右，Alicat 的流量计选什么材质才不会被腐蚀？不锈钢的能用吗？

这个问题我们遇到过好几次，先说结论：氯气（Cl₂）和硫化氢（H₂S）这类湿态腐蚀性气体，标准 316L 不锈钢流量计基本不能用，短则几天、长则两三周就会出现零点漂移和内壁点蚀。下面说我们实际排查的过程。

某高校实验室用 Alicat 质量流量计测 Cl₂，量程 50 sccm，精度要求 ±0.8% 读数 + ±0.2% 满量程，进气压力 0.2 MPa，温度 25 ℃。用了两周后发现零点从 0 漂到 1.5 sccm，拆开看传感器流道内壁有黄褐色腐蚀产物。我们当时先怀疑是气体带液，加了 0.5 μm 过滤器后仍然漂移，最后确认是不锈钢在含水氯气环境下点蚀。

后来我们按气体特性重新选型，分三种情况处理：

• 干燥 Cl₂（露点 < -40 ℃）：316L 不锈钢可以短时间用，但我们一般建议至少做钝化处理，并且每 3 个月校准一次零点。
• 湿 Cl₂ 或 H₂S：必须选 哈氏合金 C-22 或 PTFE 密封 + 哈氏合金接液的版本。我们给某半导体厂换的就是 C-22 流道，量程 100 sccm，压力 0.15 MPa，连续跑了 8 个月零点漂移在 0.3 sccm 以内。
• 氨气（NH₃）：情况不同，NH₃ 对不锈钢腐蚀性弱，但对密封圈有要求。标准氟橡胶（FKM）在液氨或高浓度氨气下会溶胀，我们换成全氟醚橡胶（FFKM）或 PTFE 密封，量程 200 sccm、压力 0.1 MPa 的场合用了 1 年没出问题。

需要说清楚的边界：哈氏合金也不是万能的。如果气体里含水且含氧，Cl₂ 环境下哈氏合金仍可能缓慢腐蚀，这时候要考虑 PTFE 全流道或加装气体干燥器。另外，如果量程低于 10 sccm，腐蚀性气体建议直接上毛细管差压式或热式，不要用科氏力，因为小流道更容易堵和腐蚀。

还有一个实操细节：腐蚀性气体一定要在流量计前加装化学兼容的过滤器，我们常用 PTFE 膜过滤器，孔径 0.2 μm，压损控制在 3 kPa 以内。另外，每次换气瓶后建议用高纯氮气吹扫 10 分钟，避免残留湿气加速腐蚀。

最后提醒：如果你们的气体是干态、常温、压力低于 0.3 MPa，316L 加钝化可以撑一段时间，但要做好每 2 个月校准的准备；如果是湿态或高温（>50 ℃），直接上哈氏合金或 PTFE 方案，别省这个钱。

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