Alicat 质量流量计换了气体之后读数明显不对,是标定问题还是我设置错了?
这个问题我们遇到过很多次,先说结论:大多数情况下不是标定问题,而是气体设置没改,或者改的方式不对。但也要分情况,下面把我们实际排查的过程写出来。 某高校实验室用一台 Alicat M 系列 0-500 SCCM 量程的质量流量计,原本走氮气,精度 ±0.8% of reading
这个问题我们遇到过很多次,先说结论:大多数情况下不是标定问题,而是气体设置没改,或者改的方式不对。但也要分情况,下面把我们实际排查的过程写出来。
某高校实验室用一台 Alicat M 系列 0-500 SCCM 量程的质量流量计,原本走氮气,精度 ±0.8% of reading。后来实验改成走氩气,客户发现同样 100 SCCM 的设定值,下游检测到的实际流量偏高约 20% 左右,怀疑是表坏了或者标定漂了。
我们第一步先确认表本身有没有问题:让客户切回氮气,在 100 SCCM 点复测,读数与标准流量计对比在 ±1% 以内,说明标定没有漂。第二步看气体设置,发现客户只是把显示单位从 N2 改成了 Ar,但没有真正调用 Alicat 内部的气体选择功能。这里要说明,Alicat 的流量计出厂是按客户指定气体标定的,但内置了多种气体的换算系数,切换气体时需要在菜单里选对应的气体编号,让它调用对应的 K 系数和粘度补偿。
第三步我们让客户在 Gas Select 里把气体从 N2 改成 Ar,再在 100 SCCM 点复测,偏差降到 2% 以内。原因是氩气相对氮气的换算系数约为 1.19 左右,如果不切气体,表内部还是按氮气计算,流量显示就会偏。客户之前看到的 20% 偏差,基本就是这个系数差带来的。
但这里有几个边界必须说清楚:
- 如果气体是混合气,或者客户用的气体不在 Alicat 内置列表里,光切气体编号不够,需要用实际气体重新标定,或者用客户提供的 K 系数手动输入。
- 如果工况压力、温度跟标定条件差很多,比如标定是 0.1 MPa、25°C,实际用到 0.6 MPa、60°C,即使气体切对了,也可能因为密度和粘度补偿超出模型范围而出现偏差,这时要联系厂家做工况标定。
- 如果量程选得太大,比如实际用 10 SCCM 却选了 500 SCCM 的表,低端精度会明显变差,换气体后偏差更容易被放大。
所以我们的经验是:换气体先查 Gas Select 有没有切对,再查压力温度是否在补偿范围内,最后才怀疑标定。多数所谓“标定问题”,其实是设置问题。
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