手里只有几台 Alicat 流量计,没有标准表,怎么做期间核查?互相比对行不行?
这个问题我们被问过很多次,尤其是高校实验室和环保监测站。先说结论:没有标准表可以做期间核查,但只能做“一致性核查”,不能做“溯源校准”。两者目的不同,别混。 我们去年帮某高校实验室处理过一批 5 台 Alicat M 系列质量流量计,量程分别是 0-100 SCCM、0-500
这个问题我们被问过很多次,尤其是高校实验室和环保监测站。先说结论:没有标准表可以做期间核查,但只能做“一致性核查”,不能做“溯源校准”。两者目的不同,别混。
我们去年帮某高校实验室处理过一批 5 台 Alicat M 系列质量流量计,量程分别是 0-100 SCCM、0-500 SCCM、0-1 SLPM、0-5 SLPM、0-20 SLPM,精度标称 ±0.8% of reading + ±0.2% of full scale。客户没有标准表,问能不能互相比对。
我们的做法是分三步:
- 第一步,选参考表。不是随便挑一台。优先选量程最大、使用时间最短、最近一次原厂校准日期最新的那台作为“临时参考”。那次我们选了 0-20 SLPM 那台,因为它校准日期最近,且平时只跑 30% 量程以下,膜片损耗小。
- 第二步,串联比对。把参考表和被查表用不锈钢管串联,中间不加任何阀门和弯头,保证同一气体、同一温度、同一压力。气体用氮气,压力稳定在 0.2 MPa,温度控制在 23±2°C。流量点选 20%、50%、80% 三个点,每个点稳定 3 分钟后读 10 组数据取平均。
- 第三步,判定。如果被查表与参考表偏差在 ±2% 以内,我们认为“一致性合格”,可以继续用;超过 ±2% 就标记,超过 ±5% 直接停用。
那次 5 台里,0-500 SCCM 那台在 80% 点偏差到了 3.8%,后来拆下来发现是进气口有微量油污,清洗后回到 1.2%。所以互比的最大价值不是校准,而是发现“哪台明显不对劲”。
但必须说清楚边界:这种做法不成立的情况有三种。第一,如果你的工艺要求精度优于 ±1%,互比给不了溯源,必须送检。第二,如果几台表量程差异超过 10 倍,比如 0-10 SCCM 和 0-1 SLPM 比,小量程表在大流量点根本不在有效段,比了也没意义。第三,如果气体从氮气换成氢气或氦气,Alicat 的层流差压原理对气体粘度敏感,互比前必须各自按实际气体重新标定,否则偏差会放大到 5% 以上。
另外,期间核查周期我们一般建议:实验室环境 6 个月一次,工业现场 3 个月一次,每次记录要留流量点、温度、压力、气体种类和比对日期。如果连续两次偏差都往同一方向漂,别等第三次,直接送检。
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