产品特点
耐腐蚀接液
适配腐蚀性/高纯气体工况
闭环控制
集成比例阀，设定值自动稳定
气体库丰富
耐腐蚀系列支持 128 种预装气体
规格参数
| 产品型号 | ALICAT PFU-100SLPM-D |
| 产品类型 | 耐腐蚀气体质量流量控制器 |
| 常规量程 | 0 – 100 SLPM |
| 精度 | ±0.8% 读数 + ±0.2% 满量程（高精度选项更优） |
| 工作压力 | 11.5 – 160 PSIA |
| 适用气体 | 128 种预装气体（含腐蚀性） |
| 通信接口 | RS-232/RS-485 + Modbus RTU，可选工业协议 |
| 适用场景 | 腐蚀性气体控制、高纯气体给气 |
| 质保政策 | 整机一年质保（以厂商政策为准） |
| 采购支持 | 支持对公采购和开票，请询价 |
