产品特点
大流量控制
500 SLPM 覆盖主干路与放大装置
响应快
毫秒级控制响应，设定值跟随及时
集成灵活
多种电气接口与通信协议可选
规格参数
| 产品型号 | ALICAT PF-500SLPM-D |
| 产品类型 | 气体质量流量控制器 |
| 常规量程 | 0 – 500 SLPM |
| 精度 | ±0.6% 读数 或 ±0.1% 满量程（取大值） |
| 控制范围 | 满量程 0.01% – 100%（量程比 10,000:1） |
| 工作压力 | 11.5 – 160 PSIA |
| 适用气体 | 98 种预装气体 + COMPOSER™ 自定义混合气 |
| 通信接口 | RS-232/RS-485 + Modbus RTU，可选工业协议 |
| 适用场景 | 工艺主干路、放大装置进气、大流量配气 |
| 质保政策 | 整机一年质保（以厂商政策为准） |
| 采购支持 | 支持对公采购和开票，请询价 |
