产品特点
闭环控制
集成比例阀与闭环算法，设定值自动稳定
快速响应
10 SCCM – 20 SLPM 档位控制响应最快可达 30 ms
多种设定方式
前面板、模拟信号或串口命令均可设定流量
规格参数
| 产品型号 | ALICAT PF-2SLPM-D |
| 产品类型 | 气体质量流量控制器 |
| 常规量程 | 0 – 2 SLPM |
| 精度 | ±0.6% 读数 或 ±0.1% 满量程（取大值） |
| 控制范围 | 满量程 0.01% – 100%（量程比 10,000:1） |
| 工作压力 | 11.5 – 160 PSIA |
| 适用气体 | 98 种预装气体 + COMPOSER™ 自定义混合气 |
| 通信接口 | RS-232/RS-485 + Modbus RTU，可选模拟量与工业协议 |
| 适用场景 | 反应进气控制、配气调节、工艺给气 |
| 质保政策 | 整机一年质保（以厂商政策为准） |
| 采购支持 | 支持对公采购和开票，请询价 |
