半导体与真空工艺
半导体与真空工艺的气体流量控制：CVD/ALD、PECVD、磁控溅射与真空镀膜选型
行业背景
半导体、光伏与真空镀膜工艺对气路的要求是三个词：精确、洁净、耐腐蚀。前驱体输送、稀释气配比、腔体压力稳定，任何一项漂移都会落到膜厚均匀性和良率上。本栏目覆盖 CVD/ALD、PECVD、磁控溅射、真空镀膜几个主流工段的气体流量控制方案。
相关应用与方案（7 篇）
半导体工艺气体流量控制：特种气体、耐腐蚀与洁净度
半导体制造用的工艺气体大多具有腐蚀性、易燃或剧毒。本文按气体分类说明材质与密封的选择原则，讲清特气柜到工艺腔体的流量控制位置、洁净度要求，以及安全设计必须由专业方负责的边界。
阅读全文 → 行业应用Alicat质量流量控制器选型指南：从工艺要求到落地核对
面向工程师与采购，梳理Alicat质量流量控制器在气体与液体精密控制中的选型要点、换型核对清单与现场落地注意事项，帮助判断工况适配性、减少返工与停机风险。
阅读全文 → 行业应用CVD/ALD 薄膜沉积的气体流量控制：前驱体输送方式与选型核对
CVD、ALD、PECVD 等薄膜沉积工艺对气体流量控制有哪些硬要求？本文梳理硅烷、氨、N2O、WF6 等工艺气体与前驱体输送（鼓泡、直液注入、气源）的流量控制要点，给出响应速度、耐腐蚀、沉积污染与加热管路的核对清单，帮薄膜工艺研发避开选型盲区。
阅读全文 → 行业应用PECVD 工艺气体流量控制选型指南：Alicat 质量流量控制器落地要点
面向 PECVD 工艺的 Alicat 质量流量控制器选型指南，梳理工艺真实要求、量程与工作点、气体特性、响应速度、密封洁净等核对要点，并给出安装吹扫联动安全与常见问题排查方法，帮助工程师与采购在换型改造中降低风险。
阅读全文 → 行业应用Alicat质量流量控制器选型与换型核对指南
面向工程师与采购的Alicat质量流量控制器选型落地指南。从工艺要求、量程工作点、气体特性、响应、压损、密封到现场安装与故障排查，给出可操作的核对清单与判断依据，帮助降低换型与集成风险。
阅读全文 → 行业应用Alicat 层流差压质量流量控制器：气体流量控制的选型与换型核对
面向工程师与采购，围绕 Alicat 层流差压质量流量控制器，讲清气体流量控制在工艺中的真实要求、选型六项核对、现场安装联动与常见故障处理，并给出换型替代时需要提供的参数清单与验证方法。
阅读全文 → 行业应用腐蚀性气体流量计怎么选：介质清单、材质与密封的三重核对
Cl₂、HCl、H₂S、NH₃、硅烷等腐蚀性气体测流量，普通流量计为什么容易坏？本文梳理腐蚀性介质清单、接液材质与密封件的选择逻辑、标定与安全要求，并说明耐腐蚀系列与常规系列的区别，帮实验室与工艺研发避免选错后短时间内损坏。
阅读全文 →该行业常用型号
以下型号均可按你的实际工况核对量程与接口，点击进入产品页查看参数；不确定选哪一款，把工况发过来我们出对照表。
AlicatPF系列气体质量流量控制器集成精密比例阀与闭环控制支持RS-485/Profibus通信
带精密比例阀与闭环控制的质量流量控制器，支持 RS-485/Profibus 等接口。
查看详情 → PFU-250SLPM-DPFU-250SLPM-DAlicat耐腐蚀气体质量流量控制器（0–250SLPM）
耐腐蚀控制器，量程 0–250 SLPM，接液材质适配腐蚀性工艺气。
查看详情 → PFV-5SLPM-DPFV-5SLPM-DAlicat耐腐蚀气体质量流量控制器（0–5SLPM）
耐腐蚀控制器，量程 0–5 SLPM，适合小流量工艺气精确控制。
查看详情 → Alicat PV 系列AlicatPV系列耐腐蚀气体质量流量计哈氏合金接液适用于氯化氢硫化氢环境
耐腐蚀流量计，哈氏合金接液，适用于氯化氢、硫化氢等环境。
查看详情 → PF-100SCCM-DPF-100SCCM-DAlicat气体质量流量控制器（0–100SCCM）
小量程控制器 0–100 SCCM，用于前驱体稀释等低流量支路。
查看详情 →需要按你的工况出配置？
把介质、流量范围、工作压力、接口形式与是否要接自动化系统发过来，我们按工位实际情况出一份配置对照表，不收费。
电话 / 微信：17881406149（微信同号） 在线选型：Alicat 流量选型工具 产品目录：产品目录
